X射線熒光光譜儀的分類

市面上主要的X射線熒光光譜儀分為兩大類：波長色散型X射線熒光光譜儀和能量色散型X熒光光譜儀。兩者最大的區(qū)別在于對(duì)次級(jí)X射線（元素的特征譜線）分辨特征。波長色散型X射線熒光光譜儀利用分光晶體的衍射來分離樣品中的多色輻射。能量色散型X熒光光譜儀用探測(cè)器產(chǎn)生的電壓脈沖和多道分析器來分辨樣品中的特征射線。

波長色散型X熒光光譜儀按照測(cè)角儀是否轉(zhuǎn)動(dòng)可分為掃描型和同時(shí)型兩種。分析元素范圍都是從Be~U，最大功率都是4KW。

掃描型（圖2）即通過改變分光晶體和探測(cè)器的角度來獲得元素信息。只需要幾塊晶體便能實(shí)現(xiàn)全元素分析。根據(jù)所測(cè)元素的不同，測(cè)試時(shí)間也不同。

同時(shí)型（圖3）將分光晶體和探測(cè)器固定在不同的位置上，可同時(shí)獲得多個(gè)元素信息。根據(jù)所配分光晶體和探測(cè)器的個(gè)數(shù)，來確定測(cè)試元素的個(gè)數(shù)。這樣的設(shè)計(jì)，使得測(cè)試速度更快，測(cè)試精度更高。但是相對(duì)而言，價(jià)格會(huì)更貴，測(cè)試元素?cái)?shù)量也有限制，需要額外增加測(cè)角儀才能實(shí)現(xiàn)全元素的分析。

圖2 掃描型波長色散X射線熒光光譜儀及光路結(jié)構(gòu)

圖3 同時(shí)型波長色散X射線熒光光譜儀及光路結(jié)構(gòu)

波長色散型X熒光光譜根據(jù)設(shè)備大小可分為高功率型和臺(tái)式。高功率型（圖2、圖3）一般最大功率能到4KW，臺(tái)式（圖4）功率根據(jù)設(shè)備的不同一般有50W、200W或400W等等。

圖4 臺(tái)式波長色散型X射線熒光光譜儀

能量色散型X射線熒光光譜儀根據(jù)設(shè)備大小可分為臺(tái)式和手持式兩大類。手持式一般用于現(xiàn)場(chǎng)分析，功率較小，方便快捷。臺(tái)式一般用于實(shí)驗(yàn)室，測(cè)試元素范圍，精度和儀器靈敏度更高。

圖5 臺(tái)式能量色散型X射線熒光光譜儀及光路結(jié)構(gòu)

圖6 手持式能量色散型X射線熒光光譜儀

臺(tái)式能量色散型X射線熒光光譜儀可分為常規(guī)型（圖5），偏振型和毛細(xì)聚焦型。偏振型（圖7）可以大幅度降低背景噪音，提高峰背比，降低檢出限。毛細(xì)聚焦型（圖8）在能保證一定初級(jí)X射線強(qiáng)度下，初始X射線聚焦，光斑直徑能到幾十微米，提高初級(jí)X射線強(qiáng)度，降低檢出限。但是這兩種都相較于常規(guī)型價(jià)格較高。

圖7 偏振型能量色散型X射線熒光光譜儀及光路結(jié)構(gòu)

圖8 毛細(xì)聚焦型能量色散型X射線熒光光譜儀及光路結(jié)構(gòu)