科學(xué)、工業(yè)和商業(yè)領(lǐng)域的用戶通常采用光譜法分析材料中的不同成分。在許多情況下，主要和次要元素濃度的精確測定是至關(guān)重要的。

在傳統(tǒng)觀念當中，常常采用波長色散型X射線熒光光譜儀做這些應(yīng)用，因為其可以提供所需的精密度。而能量色散型X射線熒光光譜儀常常被認為只能做定性半定量的分析，應(yīng)用到快篩分析，比如RoHS檢測、固廢回收等領(lǐng)域。

但事實上，能量色散型X射線熒光光譜儀經(jīng)過這么多年的發(fā)展，其精密度已經(jīng)能與WD-XRF相媲美。特別是SPECTRO分析儀器公司的SPECTRO XEPOS光譜儀。

SPECTRO XEPOS配備強制風(fēng)冷式的50W端窗X射線管，針對最大能量產(chǎn)生進行了優(yōu)化。該X射線管配備了厚度、鈷鈀二元合金靶材為主要感興趣元素提供了良好的激發(fā)條件。再者，搭配直接激發(fā)、偏振激發(fā)和通帶濾光片光路系統(tǒng)，針對特定元素進一步激發(fā)，提高了靈敏度。

圖1. SPECTRO 激發(fā)光路系統(tǒng)

我們使用SPECTRO XEPOS對地質(zhì)礦物樣品（采用熔片法制樣）進行7天35次分析，結(jié)果如下表顯示。

重復(fù)性試驗結(jié)果顯示，就算是Na、Mg、Al、Si等這些“輕"元素，在能量色散型X熒光光譜儀中常常被認為測不好的元素，其精密度都是非常高的。

表1.  7天重復(fù)性試驗的分析結(jié)果

通過測試，SPECTRO XEPOS具備高精密度與準確性，其性能與WD-XRF相當，也能滿足實際的高精度分析的測試需求。